M15X 팹·용인 클러스터 도입
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25일 SK하이닉스 뉴스룸에 따르면 회사는 새로 짓고 있는 M15X 팹과 용인 클러스터에 신규 저전력 펌프를 전량 도입할 예정이다.
펌프는 반도체 공정에서 고(高)진공 환경을 만들어 불순물을 제거하는 장비로, 반도체의 품질과 수율을 결정하는 역할을 한다. 실제 펌프 구동을 위해 사용되는 전력은 팹 전체 소비 전력의 15% 수준이다.
SK하이닉스는 앞서 2022년 연구·제조·설비·환경·구매 등 각 분야 기술 인력으로 구성된 '탄소관리위원회'를 출범하고 12개의 세부 분과를 통해 2050년 넷제로 달성을 위한 온실가스 배출 저감 활동을 추진 중이다.
SK하이닉스는 신규 저전력 펌프 도입을 위해 1분기부터 평가를 시작한 데 이어 3분기부터 신규 투자를 통해 기존 운영 중인 팹에 도입하고 있다고 설명했다. 추후 신규 저전력 펌프 도입을 확대할 계획이다.
또 식각공정의 펌프 용량을 기존 3만L에서 2만L로 줄여도 반도체 품질과 수율에 큰 차이가 없다는 평가 결과를 도출하고, 3분기부터 진행된 식각공정 신규 투자에는 저전력 펌프를 도입하는 것뿐 아니라 펌프 용량까지 줄여 저전력 효과를 극대화 중이다.
현재 지어지는 신규 팹의 경우 기존 운영 중인 M14 팹의 메인 프로세스 공정 기준으로 전력 소비량을 추산하면, 기존 펌프 사용시 전력 소비량 대비 39.7%가량 저감할 수 있다.
SK하이닉스 관계자는 "전력 소비 감소는 결국 전력 생산을 위한 탄소 배출 저감으로 이어지기 때문에 스코프2(간접 배출) 배출량 감축에도 크게 기여할 것"이라며 "탄소 배출 저감과 더불어 투자비와 수리비, 운영비 등을 절약할 수 있을 것"이라고 말했다.
또 "공정 평가가 마무리되고 M15와 M16 식각 프로세스 공정 전체에 펌프의 회전속도 감속이 적용될 경우 평균 전력 사용은 16.7%가량 감소할 것으로 예상된다"며 "이는 전력 사용을 위한 비용 절감뿐 아니라 탄소배출 저감에도 기여하게 될 것"이라고 했다.
